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• 필름 벌크 공진기, -共振器, Film Bulk Acoustic Resonator, FBAR

  공진기의 하부에 공진 캐비티(Cavity)를 만들어 압전막의 벌크 탄성파(BAW: Bulk Acoustic Wave)를 캐비티 내에서 공진시키는 공진기 구조. 공진기의 성능은 우수하나 박막 형성 프로세스에 추가하여 실리콘 기판 측에 캐비티를 형성하는 고도의 공정이 필요하고, 다른 반도체 회로와의 모노리식화가 어려운...